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电子小百科

薄膜压电MEMS

薄膜压电MEMS

  • 何谓压电？
    压电（压电元件）是通过施加力产生电压或反过来通过施加电压使之变形的一种元件。
  • 压电相关术语
    对压电相关的术语进行简要说明。
  • 何谓MEMS？
    MEMS是一种利用微细加工技术将机械部件、电子电路、传感器和执行器集成在一块电路板上的高附加值器件。
  • MEMS相关术语
    对MEMS相关的术语进行简要说明。