薄膜压电MEMS压电相关术语
压电相关术语
关于压电相关术语的简要说明。
| 术语 | 说明 |
|---|---|
| 压电(Piezo) | 指压电元件（piezoelectric element、piezoelectric device） |
| 压电效应 | 通过施加力（压力）产生电压的现象 |
| 逆压电效应 | 通过施加电压产生变形的现象 |
| 压电元件 | 利用压电效应、逆压电效应的零件、元件 |
| 传感器 | 利用科学原理将现象和信息等转换为电信号等的装置 |
| 执行机构 | 将电等能源转换为机械运动，用于运行设备的驱动装置 |
| 离子 | 指因电子过剩或缺失而携带电荷的原子 |
| 压电材料 | 表现压电性的结晶性物质的统称 |
| 压电单晶 | 材料内部的晶体结构均匀连续的压电材料 |
| 压电陶瓷 | 拥有晶粒结构或畴壁结构的压电体 |
| 晶粒结构 | 在多晶体中，2个以上的小晶体之间存在的界面 |
| 畴壁结构 | 晶体内存在极化方向不同的边界的结构 |
| 极化 | 置于电场或磁场时产生正负电化，或是产生磁极的现象 |
| PZT | 指锆钛酸铅（PbZrxTi1-xO3）（0<x<1） |
| 溅射 | 使高能粒子撞击金属表面，利用飞出的原子进行制膜的方法 |
| CSD | 通过涂布、烧成金属有机酸盐或化合物溶液形成薄膜的方法 |
| 溶胶凝胶法 | CSD的一种。通过对溶胶状态的液体进行加热、烧成来得到薄膜的方法 |
| 溶胶状态 | 以液体为分散介质的胶体（例：肥皂水、浆糊、蛋清、牛奶、蛋黄酱等） |
| 凝胶状态 | 溶胶状态丧失流动性后的状态 |
| MOCVD | 有机金属气相沉积法，使用有机金属和气体作为原料的晶体生长方法 |
| 占板面积 | 占有面积，这里指设置装置时使用的面积 |
| 压电体 | 指通过施加应力产生极化（电压）的介电体 |
| 热释电体 | 即使不从外部施加电场，也可以自发极化的压电体 |
| 铁电体 | 从外部施加电场可以使极化方向反转的热释电体 |
| 薄膜压电 | 指压电材料的厚度约为几μm的压电元件 |
| 块体压电 | 指压电材料的厚度为几十μm以上的压电元件 |
罗姆集团为实现客户的创意、设计，提供“薄膜压电MEMS代工服务”。
下頁是关于MEMS及其关键技术的简要说明。
